エキシマVUV光とは Vacuum Ultra Violet

エキシマVUV光は希ガスや希ガスハライド化合物のランプから生みだされる非常にエネルギーの高い光です。希ガスや希ガスハライド化合物のガスが封じられたランプに外部から高いエネルギー電子を与えると放電プラズマ（誘電体バリア放電）が多数発生します。このプラズマは高いエネルギー電子を包含しており、かつ瞬時に消滅するという特徴を持っています。このプラズマ放電により、放電ガス（希ガス）の原子が励起され、瞬間的にエキシマ状態（Xe）となります（エネルギーの高い軌道原子に励起され、エキシマ励起分子になります）。このエキシマ状態から元の状態（基底状態）に戻るとき、そのエキシマ特有のスペクトルを発光します。この光をエキシマVUV光と呼んでいます。

Excimer Vacuum Ultra Violet (VUV) is strong light energy generated from lamps filled with noble gas or noble gas halide compound. In case the lamps filled with noble gas or noble gas halide compound is applied high energy electron from the outside, the lamps generate discharge plasma (i.e., dielectric barrier discharge). This discharge plasma includes high energy electron and instantly disappears. This discharge plasma excites the gas atoms to instantaneously produce the excimer state (Xe). When the excited state of atoms returns to the original (ground) state, the spectra peculiar to the excimer state are emitted (excimer emission). This emission light is excimer vacuum ultra violet (VUV).